微热板式传感器自动测控系统的研究
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【摘 要】介绍微热板式微气压传感器的工作原理,微热板式微气压传感器的方案和采取的测试系统控制策略。其中,模糊控制理论在真空控制中的应用为模糊控制器和微热板式微气压传感器的自动测控系统的设计,提供了一定的技术支持,为传感器的性能测试提供良好的实验平台和理论基础。
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